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华体会体育hth-卡尔蔡司扩建DUV光刻设备光学元件工厂
Time:2024年11月19日 | Author:华体会体育hth
据日媒报道,卡尔蔡司子公司卡尔蔡司半导体制造技术公司(ZEISS SMT)宣布已开始在德国Wetzlar建设新的 DUV 光刻系统光学元件工厂,计划于2025年完成。
Wetzlar制造基地已有20多年生产DUV光刻设备制造光学元件的历史,由于现有工厂的产能已经达到极限,因此将建设新工厂来增加产量。新工厂的生产面积将超过12,000平方米,预计将创造150个新工作岗位。
ZEISS SMT的最大客户ASML表示,其订单大量积压的原因之一是光刻设备光学镜头的供应跟不上,因此对ZEISS SMT经营抱有很高的期望。
卡尔蔡司还宣布,到2026年底将投资超过2000万欧元扩建位于德国黑森州罗斯多夫的光掩膜研发中心。在同一基地,将增加一个300平方米的无尘室,以开发一个以纳米精度修复光掩模缺陷的系统。
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